[实用新型]一种硅片载具有效
| 申请号： | 202120253325.6 | 申请日： | 2021-01-27 |
| 公开（公告）号： | CN214271035U | 公开（公告）日： | 2021-09-24 |
| 发明（设计）人： | 不公告发明人 | 申请（专利权）人： | 宣城睿晖宣晟企业管理中心合伙企业（有限合伙） |
| 主分类号： | C23C14/50 | 分类号： | C23C14/50;C23C14/34;H01L31/18 |
| 代理公司： | 北京三聚阳光知识产权代理有限公司 11250 | 代理人： | 秦广成 |
| 地址： | 242074 安徽省宣城市经济*** | 国省代码： | 安徽;34 |
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| 摘要： | 本实用新型提供了一种硅片载具，属于硅片运输设备技术领域，包括：托盘；载板，位于所述托盘的上方；升降调节机构，连接在所述托盘和所述载板之间，用于驱动所述载板沿所述载板和所述托盘的连线方向做竖向升降运动以调整所述载板和所述载板上方的靶材之间的靶基距。本实用新型提供的硅片载具，在托盘和载板之间设置升降调节机构，使得通过驱动升降调节机构，可以对载板进行移动，达到调整载板与靶材之间靶基距的效果，结构简便，便于调整，避免调节工艺参数。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 硅片 | ||
【主权项】：
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