[实用新型]电感耦合等离子体镀膜组件有效
| 申请号： | 202120288593.1 | 申请日： | 2021-02-01 |
| 公开（公告）号： | CN214705851U | 公开（公告）日： | 2021-11-12 |
| 发明（设计）人： | 宗坚;李福星 | 申请（专利权）人： | 江苏菲沃泰纳米科技股份有限公司 |
| 主分类号： | H01J37/32 | 分类号： | H01J37/32 |
| 代理公司： | 北京集佳知识产权代理有限公司 11227 | 代理人： | 骆苏华 |
| 地址： | 214000 江苏省无锡市*** | 国省代码： | 江苏;32 |
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| 摘要： | 一种电感耦合等离子体镀膜组件，用于为至少一待镀膜基材镀膜，其包括至少一装置主体、一基于电感耦合的等离子体发生单元、以及一介质板，其中所述装置主体具有一反应腔室，所述等离子体发生单元被设置于所述装置主体的外侧壁以在所述反应腔室内产生一等离子体区，所述介质板被固定设置于所述等离子体发生单元与所述反应腔室之间以区隔所述等离子体发生单元和所述等离子体区。 | ||
| 搜索关键词： | 电感 耦合 等离子体 镀膜 组件 | ||
【主权项】：
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