[实用新型]一种微型工件的PVD遮蔽治具及PVD遮蔽治具机构有效
| 申请号： | 202120312928.9 | 申请日： | 2021-02-03 |
| 公开（公告）号： | CN214458274U | 公开（公告）日： | 2021-10-22 |
| 发明（设计）人： | 杜斌;王申万;蔡创英;陈嘉新;姚陈诚;陈友静;刘会旭 | 申请（专利权）人： | 深圳市正和忠信精密科技有限公司 |
| 主分类号： | C23C14/04 | 分类号： | C23C14/04;C23C14/50 |
| 代理公司： | 深圳智趣知识产权代理事务所(普通合伙) 44486 | 代理人： | 崔艳峥 |
| 地址： | 518000 广东省深圳*** | 国省代码： | 广东;44 |
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| 摘要： | 本实用新型提供了一种微型工件的PVD遮蔽治具及PVD遮蔽治具机构，一种微型工件的PVD遮蔽治具，包括：基座；多个遮蔽件，遮蔽件设置在基座上；多个弹性件，弹性件用于使微型工件与遮蔽件紧密贴合。一种PVD遮蔽治具机构，包括挂盘和多个微型工件的PVD遮蔽治具；挂盘包括多个挂钩，悬挂部挂在挂钩上。与现有技术相比，本实用新型的一种微型工件的PVD遮蔽治具，具有溢镀低、产品良率高的特点。本实用新型的PVD遮蔽治具机构，能够大批量进行镀膜，镀膜效率高，极大的节省人力和机台需求。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 微型 工件 pvd 遮蔽 机构 | ||
【主权项】：
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