[实用新型]一种适用于面板静态阵列式镀膜的真空装置有效
| 申请号： | 202120326005.9 | 申请日： | 2021-02-04 |
| 公开（公告）号： | CN215050674U | 公开（公告）日： | 2021-12-07 |
| 发明（设计）人： | 来华杭;娄国明;俞峰;周海龙 | 申请（专利权）人： | 浙江上方电子装备有限公司 |
| 主分类号： | C23C14/56 | 分类号： | C23C14/56;C23C16/54 |
| 代理公司： | 杭州合信专利代理事务所(普通合伙) 33337 | 代理人： | 沈自军 |
| 地址： | 312366 浙*** | 国省代码： | 浙江;33 |
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| 摘要： | 本申请提供了一种适用于面板静态阵列式镀膜的真空装置，包括至少两个经翻板阀连通的腔室，所述翻板阀包括：壳体，所述壳体的两相对侧分别开设有连通口，各连通口与相应的腔室相通，在所述壳体内带有处于两个连通口之间的隔离门洞；两阀板，转动安装于所述壳体内、且分别处在所述隔离门洞的两侧，所述两阀板在工作状态下分别密封贴靠在所述隔离门洞的两侧；驱动机构，安装于所述壳体的外部，且与所述两阀板联动。本申请真空装置能够实现单个工艺腔室的破空，减少维护时间，降低维护成本。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 适用于 面板 静态 阵列 镀膜 真空 装置 | ||
【主权项】：
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