[实用新型]拉晶炉排气管道及拉晶炉有效
| 申请号： | 202120343231.8 | 申请日： | 2021-02-04 |
| 公开（公告）号： | CN214300459U | 公开（公告）日： | 2021-09-28 |
| 发明（设计）人： | 吴永林 | 申请（专利权）人： | 西安奕斯伟硅片技术有限公司;西安奕斯伟材料技术有限公司 |
| 主分类号： | C30B15/00 | 分类号： | C30B15/00;C30B29/06 |
| 代理公司： | 北京远创理想知识产权代理事务所(普通合伙) 11513 | 代理人： | 李蔚君 |
| 地址： | 710032 陕西*** | 国省代码： | 陕西;61 |
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| 摘要： | 本实用新型公开了一种拉晶炉排气管道及拉晶炉，所述拉晶炉排气管道包括安装在拉晶炉炉底出气口上的护筒(1)、与所述拉晶炉炉底出气口连通的排气管(2)和套装在所述排气管(2)上的护套(3)，所述护筒(1)的内壁设置有涂层，使得所述护筒(1)内壁具有光滑表面，所述排气管(2)位于所述拉晶炉炉底下方，所述排气管(2)的上端位于所述护套(3)内。所述拉晶炉包括该拉晶炉排气管道。本实用新型提供的拉晶炉排气管道及拉晶炉能够解决排气管道被氧化物堵塞的问题，避免引发晶棒错位。 | ||
| 搜索关键词： | 拉晶炉 排气 管道 | ||
【主权项】：
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