[实用新型]加热发叉结构、热场发射电子源及电子显微镜有效

专利信息
申请号: 202120348611.0 申请日: 2021-02-05
公开(公告)号: CN214254338U 公开(公告)日: 2021-09-21
发明(设计)人: 郝占海;蔡素枝;陆梁 申请(专利权)人: 大束科技(北京)有限责任公司
主分类号: H01J37/065 分类号: H01J37/065;H01J37/063;H01J37/26
代理公司: 北京细软智谷知识产权代理有限责任公司 11471 代理人: 高淑凤
地址: 102200 北京市昌平区回*** 国省代码: 北京;11
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摘要: 实用新型提供了一种加热发叉结构、热场发射电子源及电子显微镜,涉及电子显微镜技术领域,解决了加热发叉及位于其端部的发射针尖易与外界振源发生共振,影响成像的技术问题;该加热发叉结构包括具有第一加热部和第二加热部的加热发叉本体,第一加热部和第二加热部连接形成V型结构,V型结构的上部用以与接线柱连接,其下部为用以与发射针尖连接的尖端;且第一加热部和第二加热部均呈条带状;本实用新型加热发叉本体中的第一加热部和第二加热部均为条带状,在与接线柱连接时结构更为稳定,通过将加热发叉的形状由丝状改进为条带状,提高了加热发叉本体的固有频率,防止加热发叉本体与外界振动源产生共振,起到抗振的效果。
搜索关键词: 加热 结构 发射 电子 电子显微镜
【主权项】:
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