[实用新型]蒸发镀膜设备及系统有效

专利信息
申请号: 202120348889.8 申请日: 2021-02-07
公开(公告)号: CN215713346U 公开(公告)日: 2022-02-01
发明(设计)人: 郭敏;张万财 申请(专利权)人: 厦门海辰新材料科技有限公司
主分类号: C23C14/56 分类号: C23C14/56;C23C14/24;C23C14/35;C23C14/54
代理公司: 北京超凡宏宇专利代理事务所(特殊普通合伙) 11463 代理人: 周宇
地址: 361000 福建省厦门市火炬高新*** 国省代码: 福建;35
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摘要: 本申请提供一种蒸发镀膜设备及系统,属于蒸发镀膜技术领域。蒸发镀膜设备包括沿基材的输送路径依次设置的用于对基材的同一表面进行镀膜的至少两组镀膜组件。每组镀膜组件包括主冷辊和蒸镀装置,蒸镀装置被配置成对基材进行镀膜,主冷辊被配置成对基材进行冷却。该蒸发镀膜设备能够减少超薄基材(厚度小于8μm的基材)在镀膜的过程中的穿孔的可能性,可以使镀膜效果更好。
搜索关键词: 蒸发 镀膜 设备 系统
【主权项】:
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