[实用新型]一种微颗粒的测量装置有效
| 申请号： | 202120350644.9 | 申请日： | 2021-02-08 |
| 公开（公告）号： | CN215339404U | 公开（公告）日： | 2021-12-28 |
| 发明（设计）人： | 王国荃 | 申请（专利权）人： | 上海凸版光掩模有限公司 |
| 主分类号： | G01N15/00 | 分类号： | G01N15/00;G01N15/02;G01N15/10 |
| 代理公司： | 上海光华专利事务所(普通合伙) 31219 | 代理人： | 罗泳文 |
| 地址： | 200233 *** | 国省代码： | 上海;31 |
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| 摘要： | 本实用新型提供一种微颗粒的测量装置，测量装置包括：透明基板；基板支架，用于固定支撑透明基板并使得透明基板悬空；颗粒检测仪，用于检测透明基板的原始颗粒参数以及在待测定区域放置预设时间后的透明基板的最终颗粒参数；处理单元，用于依据最终颗粒参数及原始颗粒参数获得待测定区域的洁净度。本实用新型的测量装置非常适合小空间环境，洁净度要求很高的测量，可以放置任何位置并且不会对环境造成无污染，通过特殊的支架支撑透明基板，可使透明基板悬空，同时透明基板放置位置可以十分精确，从而使得三维空间的定位非常精确，颗粒的数量、大小、形状可精确定位。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 颗粒 测量 装置 | ||
【主权项】：
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