[实用新型]一种适用于蒸发料粒干燥装置有效
| 申请号： | 202120362374.3 | 申请日： | 2021-02-08 |
| 公开（公告）号： | CN214620400U | 公开（公告）日： | 2021-11-05 |
| 发明（设计）人： | 陈鹏捷;谢坚明 | 申请（专利权）人： | 江苏新顺微电子股份有限公司 |
| 主分类号： | F26B11/04 | 分类号： | F26B11/04;F26B21/14;F26B25/16;F26B25/00 |
| 代理公司： | 江阴市轻舟专利代理事务所(普通合伙) 32380 | 代理人： | 孙燕波 |
| 地址： | 214400 江苏省*** | 国省代码： | 江苏;32 |
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| 摘要： | 本实用新型涉及一种适用于蒸发料粒干燥装置，属于集成电路或分立器件芯片制造技术领域。包括底座，所述底座上对称设有支架，所述支架之间设有干燥罐，所述干燥罐与支架铰接，所述干燥罐能够在支架上作旋转运动；所述干燥罐上开设加料口，蒸发料粒经所述加料口放于干燥罐内；所述加料口上活动设有密封盖，所述密封盖能够打开加料口或关闭加料口；所述干燥罐上连接气管，使得所述气管内的气体通入干燥罐内。所述干燥罐上设置手柄，转动所述手柄，带动干燥罐转动。本申请不仅结构简单，操作便捷，通过氮气和旋转干燥罐对蒸发料粒进行快速、充分的干燥，提高了干燥效率，而且氮气通入密封干燥罐内，避免了氮气过大而使得蒸发料粒飞滚掉落的发生。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 适用于 蒸发 干燥 装置 | ||
【主权项】：
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