[实用新型]基于压力传感器的真空度控制电路、装置及真空箱有效
申请号: | 202120373189.4 | 申请日: | 2021-02-08 |
公开(公告)号: | CN214471506U | 公开(公告)日: | 2021-10-22 |
发明(设计)人: | 王小平;曹万;唐文;向忠明 | 申请(专利权)人: | 武汉飞恩微电子有限公司 |
主分类号: | G01L21/00 | 分类号: | G01L21/00;F16K31/06 |
代理公司: | 深圳市世纪恒程知识产权代理事务所 44287 | 代理人: | 张志江 |
地址: | 430079 湖北省武汉市东湖新技术开发区高新大*** | 国省代码: | 湖北;42 |
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摘要: | 本实用新型涉及传感器技术领域,公开了一种基于压力传感器的真空度控制电路、装置及真空箱。基于压力传感器的真空度控制电路、装置及真空箱包括真空度压力检测模块、通信模块、主控模块及通气控制模块,真空度压力检测模块的检测信号输出端与通信模块的检测信号输入端连接,通信模块的检测信号输出端与主控模块的检测信号输入端连接,主控模块的控制信号输出端与通信模块的控制信号输入端连接,通信模块的通气指令输出端与通气控制模块的通气指令输入端连接。通过根据检测信号及预设的参考信号生成控制信号,根据控制信号生成对应的通气指令,根据通气指令接通对应的通气电磁阀,实现了真空箱自动脱气,提高了真空箱的脱气效率。 | ||
搜索关键词: | 基于 压力传感器 真空 控制电路 装置 空箱 | ||
【主权项】:
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