[实用新型]一种流水线用晶圆翻转打包装置有效
申请号: | 202120373377.7 | 申请日: | 2021-02-18 |
公开(公告)号: | CN214420764U | 公开(公告)日: | 2021-10-19 |
发明(设计)人: | 冀然 | 申请(专利权)人: | 青岛天仁微纳科技有限责任公司 |
主分类号: | B65B5/00 | 分类号: | B65B5/00;B65B7/28 |
代理公司: | 山东重诺律师事务所 37228 | 代理人: | 王鹏里 |
地址: | 266109 山东省青岛市城阳区城*** | 国省代码: | 山东;37 |
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摘要: | 本实用新型公开了一种流水线用晶圆翻转打包装置,包括晶圆传送带、真空吸笔设备支撑柱、包装传送带和旋转设备装配柱,晶圆传送带和包装传送带分别布置于真空吸笔设备支撑柱,旋转设备装配柱设置于包装传送带的出料端,导轨内装配有轨道车,打开真空吸附基片,旋转轴旋转180°的同时,包装盒底底部固定块转动,然后从储物架上落下,基片背面向上倒扣在包装盒底内,然后包装盒底在包装传送带上运动,运动到下一个储物架位置处停止,同上,压花落在基片背面起固定作用,包装传送带继续向前运动至下一储物架,包装盒盖落下,包装传送带继续向前,转动座带动盒盖夹具将包装盒底和盖拧紧,完成打包。 | ||
搜索关键词: | 一种 流水线 用晶圆 翻转 打包 装置 | ||
【主权项】:
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