[实用新型]一种低温深孔偏压溅射设备有效
| 申请号： | 202120380272.4 | 申请日： | 2021-02-19 |
| 公开（公告）号： | CN214361653U | 公开（公告）日： | 2021-10-08 |
| 发明（设计）人： | 张强;夏久龙 | 申请（专利权）人： | 上海悦匠实业有限公司 |
| 主分类号： | C23C14/35 | 分类号： | C23C14/35;C23C14/50 |
| 代理公司： | 上海恒慧知识产权代理事务所(特殊普通合伙) 31317 | 代理人： | 张宁展 |
| 地址： | 201600 上海*** | 国省代码： | 上海;31 |
| 权利要求书： | 查看更多 | 说明书： | 查看更多 |
| 摘要： | 本实用新型低温深孔偏压溅射设备，靶材和腔体之间增设固定腔体适配器，载片台上固定用于放置晶圆的冷却盘，腔体适配器内放置上下遮罩，上遮罩的顶部固定在腔体适配器上，上遮罩下部的壁上沿着圆周方向开设有多个通孔，下遮罩的壁上沿着圆周方向开设有与通孔相对应的长条调节孔，上遮罩的下部套在下遮罩内，通过螺栓穿设对应的长条调节孔和通孔以固定上下遮罩，下遮罩的底部固定底板，底板上开设中心孔，底板上沿着圆周方向开设多个安装孔，每一安装孔的边沿周缘上均放置绝缘陶瓷柱，绝缘陶瓷柱套在固定柱内，固定柱固定于底板上，T型吊杆顶端置于绝缘陶瓷柱顶部，T型吊杆底端与压环固定连接，压环上沿着圆周方向设置有多个可调节压杆。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 低温 偏压 溅射 设备 | ||
【主权项】：
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