[实用新型]一种新型硅片吸盘

摘要

本实用新型公开了一种新型硅片吸盘,包包括固定板、吸取板和侧板，所述固定板设置有进气孔，吸取板以及侧板上固设有吸取槽，进气孔与吸取槽间连通有气体通道，吸盘通过吸取槽吸取硅片，本实用新型的吸盘上设置一组或两组吸盘侧板，五组通孔的分布位置增加了吸盘与硅片的接触面积，同时使吸取硅片的力保持均衡，避免硅片部分受力或受力不均匀，提高对硅片的吸取效率，此外吸取板以及侧板的侧边设置为楔形结构，有利于吸取和分离硅片时硅片的导入和导出，本实用新型通过采用真空设备对硅片进行吸取，降低了人力成本，提高了工作效率。