[实用新型]湿式处理设备

摘要

一种湿式处理设备，包含承载盘、去离子水喷洒装置、多流体喷洒装置、以及干燥气体喷射装置。承载盘配置以承载物件。去离子水喷洒装置设于承载盘的上方，且配置以朝物件喷洒第一去离子水。多流体喷洒装置设于承载盘的上方，且配置以朝物件喷洒混合流体。此混合流体包含第二去离子水、水蒸汽、与挥发性流体。干燥气体喷射装置设于承载盘的上方，且配置以朝物件喷射干燥气体。水蒸汽小分子可提升清洗效果，挥发性流体的挥发可提供残留在物件上的处理液与微粒扩散与移动动能，借此可缩短清洗时间，并可减少湿式处理时去离子水的使用量，达到提升去除效率、降低产品缺陷、与提升良率的效果。