[实用新型]一种用于改善OGM产品夹具异常放电的结构

摘要

本实用新型公开了一种用于改善OGM产品夹具异常放电的结构，包括基板、用于向基板上镀膜的靶材和用于辅助靶材向基板镀膜的框体，所述基板、靶材个框体均竖直放置，靶材转动连接在框体的一侧，基板在小车带动下在框体的另一侧移动。框体包括MoOx框体、Mo框体Ⅰ、Al框体和Mo框体Ⅱ，MoOx靶材、Mo靶材Ⅰ、Al靶材和Mo靶材Ⅱ分别转动连接在MoOx框体、Mo框体Ⅰ、Al框体和Mo框体Ⅱ的一侧，基板在小车带动下在MoOx框体、Mo框体Ⅰ、Al框体和Mo框体Ⅱ的另一侧移动。MoOx框体和Al框体的四条边处分别设有上挡板、下挡板、左挡板和右挡板。挡板的设置可减少基板被MoOx靶材溅射的无效镀膜面积，这样基板表面的MoOx被Mo完全覆盖，不会与Al接触，从而避免了夹具放电异常的发生。