[实用新型]一种用于晶圆片加工的甩干机有效
| 申请号： | 202120412080.7 | 申请日： | 2021-02-24 |
| 公开（公告）号： | CN215176493U | 公开（公告）日： | 2021-12-14 |
| 发明（设计）人： | 山本晓;张海涛;刘良宏;许彬;庞博 | 申请（专利权）人： | 无锡吴越半导体有限公司 |
| 主分类号： | F26B5/08 | 分类号： | F26B5/08;F26B25/02;H01L21/687;H01L21/67 |
| 代理公司： | 北京华际知识产权代理有限公司 11676 | 代理人： | 刘秀颖 |
| 地址： | 214000 江*** | 国省代码： | 江苏;32 |
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| 摘要： | 本实用新型涉及晶圆片生产技术领域，且公开了一种用于晶圆片加工的甩干机，包括控制盒，所述控制盒内设置有伺服电器和控制器，所述伺服电器的输出端贯穿控制盒的顶部并延伸至控制盒的外侧，所述伺服电器的输出端固定连接有转动盘，所述转动盘的顶部设置有夹持组件，所述夹持组件包括圆形安装盒，所述圆形安装盒内的底部中心处固定连接有固定杆。本实用新型通过夹持组件可同时调整三个夹持隔离杆之间的间距，来使其夹持不同直径的晶圆片，操作简单方便，泛用性强，夹持隔离杆上的第一限位薄片和第二限位薄片可间隔放置晶圆片，无需手动调整晶圆片之间的距离，使该设备可同时甩干多片晶圆片，提高甩干效率，减少工人劳动强度。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 用于 晶圆片 加工 甩干机 | ||
【主权项】：
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