[实用新型]一种高稳定性的干法刻蚀设备

摘要

本实用新型公开了一种高稳定性的干法刻蚀设备，本实用新型涉及干法刻蚀设备技术领域，高稳定性的干法刻蚀设备，包括底座和工艺箱，工艺箱位于底座上方，工艺箱左侧下端固定连接有安装板，安装板上面开有凹槽，凹槽内部上方设有连接板，连接板上面安装有真空泵，连接板与凹槽槽底之间固定连接有若干根呈等距分布的缓冲弹簧，真空泵上端与工艺箱左侧中部之间固定连接有连接管，真空泵与工艺箱通过连接管相通，工艺箱内壁顶面安装有阴极载体，工艺箱内壁底面安装有阳极载体，阳极载体内部设有冷却腔；本实用新型的有益效果在于：有效减缓真空泵和风机的震动，有效增加干法刻蚀设备整体的稳定性。