[实用新型]化学品混合装置有效
| 申请号： | 202120436063.7 | 申请日： | 2021-02-26 |
| 公开（公告）号： | CN214553219U | 公开（公告）日： | 2021-11-02 |
| 发明（设计）人： | 林钧翔 | 申请（专利权）人： | 泉芯集成电路制造(济南)有限公司 |
| 主分类号： | B01F15/00 | 分类号： | B01F15/00;B01F15/02;B01F15/06 |
| 代理公司： | 北京超凡宏宇专利代理事务所(特殊普通合伙) 11463 | 代理人： | 严诚 |
| 地址： | 250000 山东省济南市*** | 国省代码： | 山东;37 |
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| 摘要： | 本实用新型提供一种化学品混合装置，涉及半导体制程技术领域。化学品混合装置包括混合腔室、加热保温箱、化学瓶和气体输送管，其中，加热保温箱安装在混合腔室上；化学瓶设置在加热保温箱的内部，化学瓶用于盛放化学品；气体输送管设置在加热保温箱的内部，气体输送管的一端与化学瓶连通，气体输送管的另一端与混合腔室连通。该装置不仅可以隔绝大气环境对化学瓶和气体输送管的温度影响，还能够改善温度控制效果，而且，气体输送管的长度可以大大减短，减少了对化学瓶中化学品可能产生影响的不安定因素，也不会因为气体输送管的材质以及使用年限过久对工艺造成影响。 | ||
| 搜索关键词： | 化学品 混合 装置 | ||
【主权项】：
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