[实用新型]一种晶圆覆膜切割机有效
申请号: | 202120436240.1 | 申请日: | 2021-02-26 |
公开(公告)号: | CN214394507U | 公开(公告)日: | 2021-10-15 |
发明(设计)人: | 李志卫;张仕俊 | 申请(专利权)人: | 苏州新米特电子科技有限公司 |
主分类号: | B26D11/00 | 分类号: | B26D11/00;B26D5/08;B26D7/26;B26D7/20;B26D7/02 |
代理公司: | 暂无信息 | 代理人: | 暂无信息 |
地址: | 215000 江苏省苏州*** | 国省代码: | 江苏;32 |
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摘要: | 本申请涉及晶圆覆膜生产的领域,尤其是一种晶圆覆膜切割机,其包括机架,所述机架上设有供覆膜卷放置的置膜架和供待切割覆膜放置的切割台,所述切割台上方设置有用于切割晶圆覆膜的切割组件,所述切割组件包括切割滚轮,所述切割组件与所述机架间设有用于限定切割组件作圆周运动的转动件,解决了裁切后的晶圆覆膜边缘易产生毛边,不是完整的正圆,导致晶圆覆膜与晶圆不贴合的问题。本申请具有保证晶圆覆膜切割后的完整性,减少晶圆覆膜毛边的产生的效果。 | ||
搜索关键词: | 一种 晶圆覆膜 切割机 | ||
【主权项】:
暂无信息
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