[实用新型]一种减少HVPE外延膜缺陷的镓舟结构有效
| 申请号： | 202120436381.3 | 申请日： | 2021-03-01 |
| 公开（公告）号： | CN214361833U | 公开（公告）日： | 2021-10-08 |
| 发明（设计）人： | 张林;魏曙亮 | 申请（专利权）人： | 镓特半导体科技(铜陵)有限公司 |
| 主分类号： | C30B25/08 | 分类号： | C30B25/08;C30B25/14;C30B29/40 |
| 代理公司： | 铜陵市嘉同知识产权代理事务所(普通合伙) 34186 | 代理人： | 程玉霞 |
| 地址： | 244000 安徽省铜陵市*** | 国省代码： | 安徽;34 |
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| 摘要： | 本实用新型公开了一种减少HVPE外延膜缺陷的镓舟结构，包括：壳体；上法兰端，所述上法兰端密封安装于壳体的上端；进气管，所述进气管连通于上法兰端的中央；第一进气口和第二进气口，所述第一进气口和第二进气口关于进气管对称开设于上法兰端上；多层仓，所述多层仓固接于上法兰端底部用于盛放金属镓，所述多层仓的底部具有收缩部，所述进气管底部沿多层仓的轴向向下延伸并与收缩部形成同心的圆柱腔；载台，所述载台位于壳体内的多层仓下方；衬底，所述衬底置于载台上且正对圆柱腔。本实用新型的有益效果是可以有效的减少镓舟腐蚀，提高镓舟的使用寿命，进而减少外延膜缺陷，提高外延膜质量。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 减少 hvpe 外延 缺陷 结构 | ||
【主权项】：
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