[实用新型]一种磁控溅射设备供气机构有效
| 申请号： | 202120445059.7 | 申请日： | 2021-03-02 |
| 公开（公告）号： | CN214327870U | 公开（公告）日： | 2021-10-01 |
| 发明（设计）人： | 王康 | 申请（专利权）人： | 菏泽学院 |
| 主分类号： | C23C14/35 | 分类号： | C23C14/35;C23C14/56;C23C14/54;F04B49/22 |
| 代理公司： | 济南格源知识产权代理有限公司 37306 | 代理人： | 刘晓政 |
| 地址： | 274015 山东*** | 国省代码： | 山东;37 |
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| 摘要： | 本实用新型涉及一种磁控溅射设备供气机构，包括空气压缩机，所述空气压缩机通过第一供气管路与第一个三通连通，第一个三通与转接头连通，所述转接头与磁控溅射设备的气动密封件连通，所述第一个三通还与第二供气管路连通；所述第一供气管路包括用于对空气压缩机提供气体进行缓冲的缓冲罐，缓冲罐的进气口与空气压缩机连通，缓冲罐的出气口通过第一个三通与转接头连通，在第一个三通与缓冲罐之间设置第一电磁阀；第二供气管路包括压缩气瓶，所述压缩气瓶通过第二电磁阀与第一个三通连通。本方案的机构采用了两路供气，当空气压缩机出现故障时，由另一路供气，保证了密封性能，并且有转接头，可以阻止气体倒流，保证了密封垫稳定性。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 磁控溅射 设备 供气 机构 | ||
【主权项】：
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