[实用新型]二分之一硅片吸盘

摘要

本实用新型涉及一种二分之一硅片吸盘。本实用新型包括吸盘本体,所述吸盘本体支撑于支撑部,所述支撑部包括支撑座,所述支撑座上设有通槽,所述吸盘本体的连接端自所述通槽一端穿设于所述通槽,所述吸盘本体的连接端设有延伸部；所述支撑部位于所述通槽的至少一侧沿所述吸盘的厚度方向设有卡止槽,所述卡止槽与所述通槽连通,所述卡止槽内设有卡止件,当所述延伸部趋向于所述卡止槽内时受限于所述卡止件。吸盘与支撑座采用插入式连接，通过支撑座设置通槽，对吸盘的连接端进行改进使之通槽适配，在通过卡止件和卡止槽将吸盘固定，可任意选择插入的吸盘数量，且更换较为便捷。