[实用新型]一种半导体基板的吹尘夹具有效
| 申请号： | 202120479501.8 | 申请日： | 2021-03-05 |
| 公开（公告）号： | CN214638732U | 公开（公告）日： | 2021-11-09 |
| 发明（设计）人： | 冯磊 | 申请（专利权）人： | 威海明道精密机械有限公司 |
| 主分类号： | B08B5/02 | 分类号： | B08B5/02;B08B13/00;B25B11/00 |
| 代理公司： | 暂无信息 | 代理人： | 暂无信息 |
| 地址： | 264211 山东省威海市临*** | 国省代码： | 山东;37 |
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| 摘要： | 本实用新型公开了一种半导体基板的吹尘夹具，包括，放置框；电动推杆，所述放置框的内壁顶部两侧均固定焊接有电动推杆；固定板，所述电动推杆的底部之间固定焊接有固定板；吹尘机构，所述吹尘机构包括分布板、输送管、空压机、固定框、干燥层和喷气孔，所述放置框的顶部表面两侧边缘处均固定焊接有固定框，所述固定框相互远离的一侧底部均通过连接管固定安装有空压机，所述固定框的内部固定安装有干燥层，所述固定框相邻的一侧居中处均固定插接有输送管，本实用新型有效的解决了现有的半导体基板的吹尘夹具不能根据半导体基板的高度调节吹尘机构与半导体基板之间的间距，从而降低了除尘的效率的问题。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 半导体 夹具 | ||
【主权项】：
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