[实用新型]一种用于反应室盘漏真空测试的氦气测漏装置有效
| 申请号： | 202120531577.0 | 申请日： | 2021-03-15 |
| 公开（公告）号： | CN214373174U | 公开（公告）日： | 2021-10-08 |
| 发明（设计）人： | 张良 | 申请（专利权）人： | 泰因姆电子设备（上海）有限公司 |
| 主分类号： | G01M3/20 | 分类号： | G01M3/20 |
| 代理公司： | 北京中索知识产权代理有限公司 11640 | 代理人： | 肖梦华 |
| 地址： | 201400 上海市奉*** | 国省代码： | 上海;31 |
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| 摘要： | 本实用新型公开了一种用于反应室盘漏真空测试的氦气测漏装置，涉及反应室盘漏真空测试的氦气测漏装置领域，现提出如下方案，其包括第一安装座和第二安装座，所述第一安装座固定安装有第一安装垫和第一插入套，所述第一安装垫内开设有第一插入槽，所述第一安装垫围成了上半部检测室，所述第二安装座内固定安装有第三安装垫和第二安装垫，所述第三安装垫开设有第二插入槽，所述第二安装垫上固定安装有第二插入套，所述第二安装垫围成了下半部检测室，所述第一安装座和所述第二安装座之间设有多个螺纹杆，所述螺纹杆设有位于所述第一安装座上方的稳定块，所述第一安装座和所述第二安装座之间固定安装有多个弹簧。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 用于 反应 室盘漏 真空 测试 氦气 装置 | ||
【主权项】：
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