[实用新型]一种外置式PBN烘烤炉膛隔热装置有效
| 申请号： | 202120532421.4 | 申请日： | 2021-03-15 |
| 公开（公告）号： | CN215050859U | 公开（公告）日： | 2021-12-07 |
| 发明（设计）人： | 罗爱斌;孟国浩;陈章水;宾启雄;周铁军 | 申请（专利权）人： | 广东先导微电子科技有限公司 |
| 主分类号： | C30B35/00 | 分类号： | C30B35/00;C30B11/00 |
| 代理公司： | 北京天盾知识产权代理有限公司 11421 | 代理人： | 李琼芳;肖小龙 |
| 地址： | 511517 广东省*** | 国省代码： | 广东;44 |
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| 摘要： | 本实用新型属于半导体晶体制造领域，具体公开了一种外置式PBN烘烤炉膛隔热装置，隔热装置为高稳定性耐高温材料制成的两端密闭的管状结构，管状结构的外管壁与炉膛出口处内壁贴合设置，管状结构的两端分别为外端和内端，外端为盖板，盖板尺寸大于炉膛出口处尺寸，内端尺寸不大于炉膛出口处尺寸，在管状结构的内腔填充隔热介质，管状结构的内腔设有贯穿两端的通孔，管状结构的外端盖板设有提手。本实用新型隔热装置有效减少了PBN烘烤过程炉膛内头、尾部温度差异，满足炉膛内不同位置PBN坩埚对温度的要求，提高使用该PBN坩埚生产晶体生长成功率，提高晶体生长的生产效率；同时也提高PBN烘烤过程热量的利用率，降低烘烤炉设备的用电功耗，节约用电成本。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 外置 pbn 烘烤 炉膛 隔热 装置 | ||
【主权项】：
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