[实用新型]一种渐变弯曲波导器件有效
| 申请号： | 202120536545.X | 申请日： | 2021-03-15 |
| 公开（公告）号： | CN214750917U | 公开（公告）日： | 2021-11-16 |
| 发明（设计）人： | 白谋;颜博霞;亓岩;韩哲;王延伟;范元媛 | 申请（专利权）人： | 中国科学院微电子研究所 |
| 主分类号： | G02B6/12 | 分类号： | G02B6/12;G02B6/125 |
| 代理公司： | 北京辰权知识产权代理有限公司 11619 | 代理人： | 谷波 |
| 地址： | 100029 *** | 国省代码： | 北京;11 |
| 权利要求书： | 查看更多 | 说明书： | 查看更多 |
| 摘要： | 本公开提供一种渐变弯曲波导，包括：衬底；位于所述衬底上的U型波导；至少部分覆盖所述U型波导的包覆层；其中，所述U型波导包括两段L型波导，以及连接在所述两段L型波导之间的一段矩形波导，所述L型是指90度欧拉渐变弯曲。本公开提供的渐变弯曲波导器件，不仅能保持良好的单模传输特性和超低传输损耗，并且尺寸小，可以大大提高光电器件的集成度，从而进一步降低成本，适用于大规模量产。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 渐变 弯曲 波导 器件 | ||
【主权项】：
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