[实用新型]一种硅片清洗设备有效
| 申请号： | 202120540401.1 | 申请日： | 2021-03-16 |
| 公开（公告）号： | CN214683145U | 公开（公告）日： | 2021-11-12 |
| 发明（设计）人： | 郏金鹏;张苏 | 申请（专利权）人： | 江苏芯格诺电子科技有限公司 |
| 主分类号： | B08B3/02 | 分类号： | B08B3/02;B08B3/10;B08B13/00 |
| 代理公司： | 北京盛凡智荣知识产权代理有限公司 11616 | 代理人： | 施得运 |
| 地址： | 213000 江*** | 国省代码： | 江苏;32 |
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| 摘要： | 本实用新型公开了一种硅片清洗设备，包括清洗箱，所述清洗箱内部设有承托网，所述承托网上放置有硅片本体，所述承托网上下两侧分布设有喷淋管，所述清洗箱外部一侧设有清洗液桶和新鲜水桶，所述清洗液桶右侧下端通过清洗液管连接喷淋泵入口，所述喷淋泵出口连接设有加热装置，所述加热装置内部设有蛇形盘绕的加热管，所述加热管外部绕设有电热丝，所述加热装置出口连接两侧喷淋管；所述清洗箱上侧一端设有抽风机，所述抽风机通过风管连接冷却管，所述冷却管外部设有冷却套管。优点在于：通过加热装置对清洗液有效的加热有利于清洗掉硅片表面的光刻胶，设有冷却管路有利于回收高温蒸发的清洗液，通过设置的新鲜水桶有利于对硅片本体进行水洗。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 硅片 清洗 设备 | ||
【主权项】：
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