[实用新型]一种用于测量晶圆片厚度的自动检测装置

摘要

本实用新型公开了一种用于测量晶圆片厚度的自动检测装置，晶圆存放机构包括若干个晶圆卡塞，晶圆卡塞为上下两层分布，通过卡塞固定机构固定于晶圆存放平台上；晶圆卡塞内设有若干个晶圆片插层；双臂洁净机器人包括对称设置的L轴臂和R轴臂，L轴臂和R轴臂上分别连接有抓取手；载物运动滑台设于大理石检测平台上，载物运动滑台能够在水平面上做X、Y二维运动；载物运动滑台的中部设有晶圆片放置台；大理石检测平台上设有大理石防震支架，厚度检测机构固定在大理石防震支架上；双臂洁净机器人设于晶圆存放机构与大理石检测平台之间。本实用新型具有工作效率高、结构紧凑可靠、测试精度高、操作方便等优势。