[实用新型]一种靶材的防变形结构及具有防变形结构的离子镀膜靶材有效
| 申请号： | 202120556708.0 | 申请日： | 2021-03-16 |
| 公开（公告）号： | CN216838156U | 公开（公告）日： | 2022-06-28 |
| 发明（设计）人： | 赵毅红;王锴;陈荣发;陈倩钰;王笃雄;周晓进;史敏杰 | 申请（专利权）人： | 扬州大学;扬州攀峰网络科技有限公司 |
| 主分类号： | C23C14/32 | 分类号： | C23C14/32 |
| 代理公司： | 南京禹为知识产权代理事务所(特殊普通合伙) 32272 | 代理人： | 王晓东 |
| 地址： | 225009 *** | 国省代码： | 江苏;32 |
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| 摘要： | 本实用新型公开了一种靶材的防变形结构，此结构为在靶材的周向侧壁中开设有盲孔；盲孔的数量不少于2个，且均匀分布；一种具有防变形结构的离子镀膜靶材，此离子镀膜靶材呈圆形，其径向外侧壁中开设有盲孔；盲孔的数量为4组，每组之间间隔90度分布；盲孔呈阶梯状，沿离子镀膜靶材的半径方向分布，其包括大孔和小孔，大孔位于远离离子镀膜靶材的中心轴线一端；大孔的直径为2mm，而小孔的直径为1mm，二者同轴相通；本实用新型中通过在靶材的侧壁中开设盲孔，使得温差引起的变形能够有效得到补偿，能够有效提高镀膜的稳定性和一致性，并进一步提高靶材的利用率，并使得靶材在薄膜沉积过程中表面的电弧轨迹更加稳定。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 变形 结构 具有 离子 镀膜 | ||
【主权项】：
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