[实用新型]一种高效型传感器单晶硅刻蚀装置

摘要

本实用新型提供一种高效型传感器单晶硅刻蚀装置，涉及刻蚀装置技术领域，包括装置外壳，所述装置外壳的顶部设置有风机，所述风机的出风口连通有风管。本实用新型，电机带动牵引轴进行转动，在牵引轴的转动下牵引绳能够拉动一个滚轮进行转动，当第一个滚轮开始转动时，衔接绳会拉动其他的滚轮进行转动，因此来达到对单晶硅本体在装置外壳的内部进行稳定传动的目的，使得装置能够对单晶硅本体进行稳定的刻蚀，提高了装置的实用性，在刻蚀过程中风机将风通过风管输送至装置外壳的内部，再由透风板输出，从而达到了风向的流通的目的，有利于装置在刻蚀过程中能够保持一个好的通风环境，提高了装置的工作效率，使得装置能够进行高效的对单晶刻蚀。