[实用新型]一种基于热效应的微型气体传感器有效
| 申请号： | 202120584029.4 | 申请日： | 2021-03-19 |
| 公开（公告）号： | CN214749910U | 公开（公告）日： | 2021-11-16 |
| 发明（设计）人： | 胡国庆;田伟 | 申请（专利权）人： | 青岛芯笙微纳电子科技有限公司 |
| 主分类号： | G01N25/20 | 分类号： | G01N25/20;G01J5/12 |
| 代理公司： | 青岛华慧泽专利代理事务所(普通合伙) 37247 | 代理人： | 刘娜 |
| 地址： | 266100 山东省青岛市崂山*** | 国省代码： | 山东;37 |
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| 摘要： | 本实用新型公开了一种基于热效应的微型气体传感器，包括由第一PCB、第二PCB和支撑体构成的腔体，所述腔体内位于第一PCB上设置红外探测器，所述腔体内位于第二PCB上设置微加热器，所述红外探测器与微加热器相对设置，且分别电连接到第一PCB和第二PCB上；所述微加热器上方设置气体敏感膜；所述支撑体上开设有进气口和出气口。本实用新型所公开的微型气体传感器具有体积小、成本低、制备简单、容易批量生产等优势，在气体敏感膜吸附气体分子并发生反应后，可通过红外探测器检测气体敏感膜表面的温度变化，实现更快的响应速度。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 基于 热效应 微型 气体 传感器 | ||
【主权项】：
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