[实用新型]一种用于检测芯片的外观检测装置及外观检测设备有效
申请号: | 202120588266.8 | 申请日: | 2021-03-23 |
公开(公告)号: | CN215003700U | 公开(公告)日: | 2021-12-03 |
发明(设计)人: | 姚发贵;栾俊平;欧远鹏;蒋建华;李土轩;余国弟;黎勇 | 申请(专利权)人: | 东莞市小可智能设备科技有限公司 |
主分类号: | G01D21/02 | 分类号: | G01D21/02 |
代理公司: | 东莞市永邦知识产权代理事务所(普通合伙) 44474 | 代理人: | 曾婉忆 |
地址: | 523000 广东省东*** | 国省代码: | 广东;44 |
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摘要: | 本实用新型公开一种用于检测芯片的外观检测装置及外观检测设备;一种用于检测芯片的外观检测装置,包括:多轴移动机构;视觉定位机构,与所述多轴移动机构传动而能多轴运动,用于检测芯片的水平位置;高度测量机构,与所述多轴移动机构传动而能多轴运动,用于检测芯片的高度位置;红外光源,与所述多轴移动机构传动而能多轴运动,用于向芯片表面发射红外光;红外传感器,与所述多轴移动机构传动而能多轴运动,用于接收芯片表面反射的红外光。本实用新型具有结构简单,检测效率高的优点。 | ||
搜索关键词: | 一种 用于 检测 芯片 外观 装置 设备 | ||
【主权项】:
暂无信息
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