[实用新型]一种晶圆暗裂纹检测装置有效
| 申请号： | 202120599783.5 | 申请日： | 2021-03-24 |
| 公开（公告）号： | CN214503405U | 公开（公告）日： | 2021-10-26 |
| 发明（设计）人： | 张军伟;谭中飞 | 申请（专利权）人： | 苏州恩硕无尘科技有限公司 |
| 主分类号： | G01N21/95 | 分类号： | G01N21/95;G01N21/01 |
| 代理公司： | 苏州拓源科佳知识产权代理事务所(普通合伙) 32533 | 代理人： | 赵艾亮 |
| 地址： | 215000 江苏省苏州市*** | 国省代码： | 江苏;32 |
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| 摘要： | 本实用新型提供一种晶圆暗裂纹检测装置，包括底座和位于底座上方的承载箱体，所述承载箱体内设有LED灯组，所述承载箱体的上盖设有开口，所述LED灯组对应所述开口，且所述LED灯组的发光方向朝向所述开口；所述承载箱体的上盖还设有晶圆放置槽，所述晶圆放置槽沿着所述开口周向设置；所述底座上还安装有可调式放大镜，所述可调式放大镜位于所述开口上方。本实用新型结构简单，使用方便，能够对晶圆进行暗裂纹进行检测，提高检测效率和检测精度。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 晶圆暗 裂纹 检测 装置 | ||
【主权项】：
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