[实用新型]一种用于晶圆检测的机械手上下料机构有效
| 申请号： | 202120607552.4 | 申请日： | 2021-03-25 |
| 公开（公告）号： | CN214490616U | 公开（公告）日： | 2021-10-26 |
| 发明（设计）人： | 韩志刚 | 申请（专利权）人： | 无锡光诺自动化科技有限公司 |
| 主分类号： | B25J11/00 | 分类号： | B25J11/00;B25J15/00;B25J15/06;B65G47/91 |
| 代理公司： | 无锡派尔特知识产权代理事务所(普通合伙) 32340 | 代理人： | 杨立秋 |
| 地址： | 214000 江苏省无*** | 国省代码： | 江苏;32 |
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| 摘要： | 本实用新型涉及晶圆检测上下料技术领域，具体涉及一种用于晶圆检测的机械手上下料机构，包括工作架，工作架的顶部安装有旋转组件，旋转组件的上端安装有旋转架，旋转架的前后两侧安装有平移组件，前后两侧平移组件上安装有机械手组件，通过控制旋转组件、平移组件实现对上下两个机械手组件的移动，从而可实现对晶圆片的上下料；机械手组件包括机械臂部和承载部，机械臂部的右端一体成型有承载部，承载部的右端开设有U形槽，使承载部的右端形成指爪结构；同时承载部的顶部还包括开设的两个弧形吸附腔；解决了机械手上下料机构不方便进行控制和调节，使得工作效率低下、劳动力成本高，不利于批量生产的问题。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 用于 检测 机械手 上下 机构 | ||
【主权项】：
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