[实用新型]一种碳化硅单晶炉顶部测温结构有效
| 申请号： | 202120615808.6 | 申请日： | 2021-03-26 |
| 公开（公告）号： | CN214327970U | 公开（公告）日： | 2021-10-01 |
| 发明（设计）人： | 李留臣;周洁;程绪高;周正星 | 申请（专利权）人： | 江苏星特亮科技有限公司 |
| 主分类号： | C30B29/36 | 分类号： | C30B29/36;C30B23/00;F27D21/00 |
| 代理公司： | 苏州创元专利商标事务所有限公司 32103 | 代理人： | 刘鑫 |
| 地址： | 215627 江苏省苏州市*** | 国省代码： | 江苏;32 |
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| 摘要： | 本实用新型公开了一种碳化硅单晶炉顶部测温结构，包括设于炉盖上方的红外高温计、连通在炉盖上方的且内部开设有测温腔的第一主体、设于第一主体顶部的玻璃板、开设于第一主体侧部的进气口；红外高温计位于玻璃板正上方，进气口位于玻璃板和炉盖之间；进气口用于在进气的同时吹扫玻璃板下表面。本实用新型一种碳化硅单晶炉顶部测温结构，在碳化硅单晶生长过程中，将需要持续通入的工艺气体从进气口通入，工艺气体在进气的同时持续吹扫玻璃板下表面，以对玻璃板下表面的挥发物进行驱除，从而使玻璃板维持洁净透亮，以保证红外高温计对石墨坩埚顶部测温的精准度，从而保证碳化硅单晶的稳定生长。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 碳化硅 炉顶 测温 结构 | ||
【主权项】：
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