[实用新型]一种防静电的半导体清洗机有效
申请号: | 202120617968.4 | 申请日: | 2021-03-26 |
公开(公告)号: | CN214441687U | 公开(公告)日: | 2021-10-22 |
发明(设计)人: | 宋干 | 申请(专利权)人: | 广东技标实业有限公司 |
主分类号: | B08B13/00 | 分类号: | B08B13/00;H01L21/67 |
代理公司: | 广州恒华智信知识产权代理事务所(普通合伙) 44299 | 代理人: | 张培祥 |
地址: | 523000 广东*** | 国省代码: | 广东;44 |
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摘要: | 本实用新型公开了一种防静电的半导体清洗机,涉及半导体清洗机技术领域,为解决现有的防静电的半导体清洗机清洗效果不是很好,实用性不是很高的问题。所述保护外壳的内部安装有导热清洗箱,所述导热清洗箱的内部安装有固定架,且导热清洗箱与固定架密封连接,所述固定架的上方安装有第一安装环,所述第一安装环下方的内壁安装有第一绝缘网盘,所述第一安装环上方两侧的内部设置有卡槽,所述第一绝缘网盘的上方安装有限位圈,且限位圈设置有若干个,所述保护外壳的两侧设置有散热孔,且散热孔设置有若干个,所述导热清洗箱的外侧安装有加热片,所述导热清洗箱的内壁安装有防静电膜。 | ||
搜索关键词: | 一种 静电 半导体 清洗 | ||
【主权项】:
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