[实用新型]曝光设备有效
| 申请号： | 202120627977.1 | 申请日： | 2021-03-26 |
| 公开（公告）号： | CN214474415U | 公开（公告）日： | 2021-10-22 |
| 发明（设计）人： | 黄国勇;司继伟;杜武兵 | 申请（专利权）人： | 深圳市路维光电股份有限公司 |
| 主分类号： | G03F7/20 | 分类号： | G03F7/20 |
| 代理公司： | 广州嘉权专利商标事务所有限公司 44205 | 代理人： | 黄广龙 |
| 地址： | 518000 广东省深圳市南*** | 国省代码： | 广东;44 |
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| 摘要： | 本申请公开了一种曝光设备，属于掩膜版制造技术领域。曝光设备，包括：机体；工件放置板，所述工件放置板可从所述机体外部滑动至所述机体内部，所述工件放置板用于放置掩膜版；紫外线灯板，所述紫外线灯板位于所述机体内部，所述紫外线灯板用于照射所述工件放置板上的掩膜版。本申请的曝光设备能够对掩膜版进行紫外线光照射，并且结构简单，易于实施，操作方便，能够快速取放掩膜版，生产效率高。 | ||
| 搜索关键词： | 曝光 设备 | ||
【主权项】：
暂无信息
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