[实用新型]一种大行程压电惯性驱动平台

摘要

本实用新型涉及一种大行程压电惯性驱动平台，属于精密机械领域。包括底座、滑动导轨、质量块、压电元件、惯性机构、柔性铰链、滑动平台。压电元件基于压电陶瓷的逆压电效应将电能转化为动能，利用惯性原理驱动质量块运动；利用柔性铰链的时滞效应，使附加质量块产生二次惯性运动，提高惯性平台的单步行程。惯性机构包含柔性结构和质量结构，产生惯性运动；滑动导轨固定在底座上，运动部分通过螺纹连接固定在滑动平台的下方，滑动平台在导轨内产生滑动，具有运动平稳，结构简单，易于控制，较易实现大行程运动且具有无电磁干扰、结构紧凑、轻巧的特点。目前，在纳米技术、光学仪器、显微操作领域由良好的应用前景。