[实用新型]一种具有排污功能的抛光液循环结构有效
申请号: | 202120658527.9 | 申请日: | 2021-03-31 |
公开(公告)号: | CN215147876U | 公开(公告)日: | 2021-12-14 |
发明(设计)人: | 寇明虎;刘泳沣 | 申请(专利权)人: | 北京特思迪半导体设备有限公司 |
主分类号: | B24B27/00 | 分类号: | B24B27/00;B24B57/02 |
代理公司: | 暂无信息 | 代理人: | 暂无信息 |
地址: | 101300 北京市*** | 国省代码: | 北京;11 |
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摘要: | 本实用新型公开一种具有排污功能的抛光液循环结构,包括漏液槽、连接管、排液管、排液盒、摆动槽、固定板和气动滑台滑轨,漏液槽固定安装在加工设备箱体的前侧,所述漏液槽的底部通过弯头与所述连接管的一端连接,连接管的另一端与所述排液管的一端连接,所述排液管固定安装在排液盒的上部位置,且所述排液管的另一端伸入排液盒内,所述摆动槽设置在所述排液管伸入排液盒内的出口位置处,该循环结构用于抛光液的循环回收利用,另一个排液出口与排出设备连接,用于将无法使用的抛光液进行排出处理。能够实现抛光液循环及排出。 | ||
搜索关键词: | 一种 具有 排污 功能 抛光 循环 结构 | ||
【主权项】:
暂无信息
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