[实用新型]一种磁控溅射阴极磁轭有效
| 申请号： | 202120666820.X | 申请日： | 2021-03-31 |
| 公开（公告）号： | CN214361655U | 公开（公告）日： | 2021-10-08 |
| 发明（设计）人： | 黄毓彬 | 申请（专利权）人： | 深圳市三钛科技有限公司 |
| 主分类号： | C23C14/35 | 分类号： | C23C14/35 |
| 代理公司： | 北京权智天下知识产权代理事务所(普通合伙) 11638 | 代理人： | 张海涛 |
| 地址： | 518000 广东省深圳市宝安*** | 国省代码： | 广东;44 |
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| 摘要： | 本实用新型公开了一种磁控溅射阴极磁轭，包括第二定位端头、不锈钢外壳、螺纹端头、第一定位端头和中心管，所述中心管的一端位于第一定位端头的外侧焊接有第二定位端头，所述中心管上位于螺纹端头和第一定位端头之间套接有第一轭铁片和第二轭铁片，所述第一轭铁片上开设有第一卡槽，所述第一轭铁片通过第一卡槽限位安装有扇形磁铁，所述第二轭铁片上开设有第二卡槽，所述第二轭铁片通过第二卡槽限位安装有内侧磁铁和外侧磁铁，所述内侧磁铁的两端位于内侧磁铁和扇形磁铁之间安装有磁铁限位件，所述内侧磁铁、外侧磁铁、第一轭铁片和第二轭铁片的外侧套接有不锈钢外壳。本实用新型具备结构简单，便于加工，进而降低生产成本的优点。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 磁控溅射 阴极 | ||
【主权项】：
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