[实用新型]一种软接触面外电极光场耦合测量装置有效
| 申请号： | 202120691409.8 | 申请日： | 2021-04-06 |
| 公开（公告）号： | CN215263151U | 公开（公告）日： | 2021-12-21 |
| 发明（设计）人： | 刘衍朋;任浩然;林繁荣 | 申请（专利权）人： | 南京航空航天大学 |
| 主分类号： | G01N21/84 | 分类号： | G01N21/84;G01N21/01;G01B11/16 |
| 代理公司： | 南京经纬专利商标代理有限公司 32200 | 代理人： | 施昊 |
| 地址： | 210016 江*** | 国省代码： | 江苏;32 |
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| 摘要： | 本实用新型公开了一种软接触面外电极光场耦合测量装置，包括微量进样器、第一光学显微镜、第二光学显微镜、激光器、探针和样品台体，被测量的样品放置在镀有金膜的硅片上，所述硅片放置在所述样品台体上，所述样品与金膜接触；所述样品台体包括样品台和位移台，所述第一光学显微镜设于样品台体的一侧，所述第二光学显微镜设于样品台上部；所述激光器设于第二光学显微镜的下方，所述探针通过导线分别与电源、金膜连接，所述微量进样器一端通过导线与电源连接，另一端通过预先制备的面外电极与样品连接。本实用新型利用显微镜找到样品并与面外电极对准、接触，通过循环操作，实现对不同样品的不同位置进行测量，测量过程快速、准确。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 接触面 外电 极光 耦合 测量 装置 | ||
【主权项】：
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