[实用新型]一种晶圆检测平台有效
| 申请号： | 202120696721.6 | 申请日： | 2021-04-07 |
| 公开（公告）号： | CN214843007U | 公开（公告）日： | 2021-11-23 |
| 发明（设计）人： | 徐鑫;王晓飞 | 申请（专利权）人： | 嘉兴微拓电子科技股份有限公司 |
| 主分类号： | G01B7/34 | 分类号： | G01B7/34 |
| 代理公司： | 上海伯瑞杰知识产权代理有限公司 31227 | 代理人： | 汪文芹 |
| 地址： | 314100 浙江省*** | 国省代码： | 浙江;33 |
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| 摘要： | 本实用新型提出一种晶圆检测平台，包括支承装配组件、横向移动组件、竖向移动组件、吸附旋转组件及距离检测组件，横向移动组件安装于支承装配组件上，竖向移动组件安装于横向移动组件上，由横向移动组件带动其沿横向移动，吸附旋转组件安装于竖向移动组件上，由竖向移动组件带动其沿竖向移动，由吸附旋转组件对晶圆片体进行吸附定位并带动其旋转，距离检测组件安装于支承装配组件上，并与吸附旋转组件位置对应，由距离检测组件对旋转的晶圆片体进行距离检测，以得出平整度指标。该晶圆检测平台通过电容距离传感器将晶圆片的距离转换成厚度高度等指标从而来计算晶圆片的平整度指标，具有检测精度高，稳定性好，检测效率高等优点。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 检测 平台 | ||
【主权项】：
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