[实用新型]垂直腔面发射激光器、激光器芯片和激光器发射模组

摘要

本实用新型公开了一种垂直腔面发射激光器、激光器芯片和激光器发射模组，垂直腔面发射激光器包括衬底、一台型结构和一沟道，台型结构形成于衬底上且包括一发光孔，还包括：第一欧姆接触层和外延结构；第一欧姆接触层形成在衬底上；外延结构形成在第一欧姆接触层上；外延结构包括第一反射层、至少两个有源层和第二反射层，至少两个有源层之间设置有隧道结；第二欧姆接触层形成在至少一台型结构上；第一电极层形成在第二欧姆接触层上；其中，至少一台型结构为正多边形结构，发光孔为对应的正多边形发光孔，发光孔的边缘距离沟道边缘的距离均相等，正多边形的内角被360整除。从而，实现了大幅度提高单位面积内的发光能量。