[实用新型]晶圆夹持机械手有效
| 申请号： | 202120731473.4 | 申请日： | 2021-04-12 |
| 公开（公告）号： | CN215942934U | 公开（公告）日： | 2022-03-04 |
| 发明（设计）人： | 刘洋;古市昌稔;曲泉铀 | 申请（专利权）人： | 上海广川科技有限公司 |
| 主分类号： | B25J11/00 | 分类号： | B25J11/00;B25J15/00;B65G47/90 |
| 代理公司： | 上海天辰知识产权代理事务所(特殊普通合伙) 31275 | 代理人： | 陶金龙;吴世华 |
| 地址： | 200444 上海市*** | 国省代码： | 上海;31 |
| 权利要求书： | 查看更多 | 说明书： | 查看更多 |
| 摘要： | 本实用新型提供一种晶圆夹持机械手，包括晶圆末端执行器、夹持组件及第一驱动组件，所述晶圆末端执行器包括支撑板，所述支撑板为Y字型结构，且前端对称固设有两个前端限位块，相对的后端固设有后端限位块，所述后端限位块具有与晶圆对应的月牙弧形侧面，且顶面平齐于所述晶圆的上表面，晶圆支撑于所述支撑板上，且卡设于所述前端限位块与所述后端限位块之间；所述夹持组件包括夹持板及导杆，所述夹持板伸缩设于所述后端限位块的顶面，具有相对的夹持端和固定端，所述夹持端自所述晶圆的上表面夹持或释放所述晶圆的边缘，所述导杆的第一端固定连接所述固定端，相对的第二端传动连接所述第一驱动组件；所述第一驱动组件驱动所述导杆沿所述导杆的轴向直线运动，并带动所述夹持板沿所述晶圆的径向伸缩运动。 | ||
| 搜索关键词： | 夹持 机械手 | ||
【主权项】：
暂无信息
下载完整专利技术内容需要扣除积分，VIP会员可以免费下载。
该专利技术资料仅供研究查看技术是否侵权等信息，商用须获得专利权人授权。该专利全部权利属于上海广川科技有限公司，未经上海广川科技有限公司许可，擅自商用是侵权行为。如果您想购买此专利、获得商业授权和技术合作，请联系【客服】
本文链接：http://www.vipzhuanli.com/patent/202120731473.4/，转载请声明来源钻瓜专利网。
- 上一篇：一种便携式多功能工程测量绘图仪
- 下一篇：一种电容触摸屏
