[实用新型]一种防边缘渗水的抛光用吸附垫

摘要

本实用新型公开了一种防边缘渗水的抛光用吸附垫，包括抛光工件、吸附垫和防渗水机构，所述吸附垫吸附在抛光工件的表面，防渗水机构设于吸附垫的边缘处，防渗水机构由底板、侧板、防渗凹板、防渗活动板和T型固定板组成，底板设于吸附垫的底部边缘处，并且底板的一端延伸出吸附垫的外侧，侧板设于底板的一端，并且侧板的一端延伸至抛光工件的外侧。本防边缘渗水的抛光用吸附垫，通过将防渗水机构夹装在吸附垫吸附与抛光工件的外边缘处，并通过设置的第一防渗胶垫与第二防渗胶垫及干燥剂来实现防止水的渗入，从而保障吸附垫的吸附效果，为研磨制程提供优异的平面基础。