[实用新型]一种升华气相物质分离装置有效
| 申请号： | 202120795565.9 | 申请日： | 2021-04-19 |
| 公开（公告）号： | CN214736208U | 公开（公告）日： | 2021-11-16 |
| 发明（设计）人： | 叶宏伦;蔡斯元;蔡期开;洪天河;钟其龙;刘崇志 | 申请（专利权）人： | 芯璨半导体科技（山东）有限公司 |
| 主分类号： | C30B23/00 | 分类号： | C30B23/00;C30B29/36;B01D7/00 |
| 代理公司： | 泉州市文华专利代理有限公司 35205 | 代理人： | 陈雪莹 |
| 地址： | 250000 山东省济南*** | 国省代码： | 山东;37 |
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| 摘要： | 本实用新型涉及一种升华气相物质分离装置，包括腔体、石墨坩埚、回收槽、激光模块和加热机构；腔体上端连通进料通道，石墨坩埚置于进料通道的下方，回收槽置于石墨坩埚的下方；石墨坩埚的相对的两侧壁上分别设有排气口和若干进气管，排气口和进气管均连通至腔体外部；石墨坩埚的底部设有通向回收槽的排料口，该排料口靠近排气口一侧设置；激光模块的射线指向进料通道的出口；加热机构用于对石墨坩埚和进气管加热。本实用新型对源料移动式加热，使得源料加热更均匀，更利于其升华，源料利用率更高，升华效率更高。装置对不同状态的源料进行分离，便于回收再利用，降低了源料成本。此外，本实用新型结构简单，制作材料常见，设备成本低。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 升华 物质 分离 装置 | ||
【主权项】：
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