[实用新型]一种硅片用流转式烘干装置有效
| 申请号： | 202120803844.5 | 申请日： | 2021-04-19 |
| 公开（公告）号： | CN214950427U | 公开（公告）日： | 2021-11-30 |
| 发明（设计）人： | 沈晓 | 申请（专利权）人： | 江苏格林保尔光伏有限公司 |
| 主分类号： | F26B15/04 | 分类号： | F26B15/04;F26B21/00;F26B25/02;F26B25/06 |
| 代理公司： | 常州市英诺创信专利代理事务所(普通合伙) 32258 | 代理人： | 张云 |
| 地址： | 213161 江苏省常*** | 国省代码： | 江苏;32 |
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| 摘要： | 本实用新型涉及硅片生产设备技术领域，尤其是涉及一种硅片用流转式烘干装置，包括机架、流转机构、传输机构和夹持机构，所述流转机构用于供硅片放置后流转等待烘干，所述传输机构用于运输硅片，所述夹持机构用于夹持硅片，使硅片在流转机构和传输机构之间转移，所述流转机构、传输机构和夹持机构均安装在机架内，所述传输机构和夹持机构还均位于流转机构内，所述夹持机构位于传输机构上方，实现了硅片干燥过程中自动进料和出料，通过流转机构实现了硅片在烘干装置的机架内的停留烘干，通过夹持机构将硅片在流转机构和传输机构之间的上料和下料，无需人工摆放与拿取，降低了硅片生产过程中的劳动强度，提高了自动化程度和生产效率。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 硅片 流转 烘干 装置 | ||
【主权项】：
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