[实用新型]一种真空低温电子束辐照试验装置有效
| 申请号： | 202120809293.3 | 申请日： | 2021-04-20 |
| 公开（公告）号： | CN214930749U | 公开（公告）日： | 2021-11-30 |
| 发明（设计）人： | 张玉宝;刘海;蒋继成;姚钢 | 申请（专利权）人： | 黑龙江省科学院技术物理研究所;哈尔滨工业大学 |
| 主分类号： | B64G7/00 | 分类号： | B64G7/00 |
| 代理公司： | 哈尔滨市松花江专利商标事务所 23109 | 代理人： | 李红媛 |
| 地址： | 150001 黑龙*** | 国省代码： | 黑龙江;23 |
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| 摘要： | 一种真空低温电子束辐照试验装置，涉及一种真空低温电子束辐照试验装置。本实用新型是要解决现有的开放电子辐照室无法实现真空低温条件复合辐照试验条件，制备真空低温箱要解决电子束辐照穿透能力低的技术问题。本实用新型的装置具有真空获得和样品台低温制冷功能，可以实现低温真空复合场条件下材料和电子器件电子束辐照效应模拟试验研究，本装置设有性能测试接口，可实现电子器件的原位性能测试功能，是电子束辐照效应研究必不可少的装置。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 真空 低温 电子束 辐照 试验装置 | ||
【主权项】：
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