[实用新型]防硅片中心下陷的镀膜载板和镀膜设备

摘要

本申请适用于太阳能电池技术领域，提供了一种防硅片中心下陷的镀膜载板和镀膜设备。镀膜载板包括：底壁；自底壁向外延伸的多个侧壁，多个侧壁和底壁围成凹槽；设于凹槽的承托件，承托件用于承托待镀膜的硅片的边缘区域，以在硅片与底壁之间形成空腔；设于空腔的支撑件，支撑件用于支撑硅片的中心区域。如此，通过设于空腔的支撑件支撑硅片的中心区域，防止了硅片被承托件抬高后由于自身重力而中心下陷，使得硅片受热更均匀、镀膜更均匀，有利于防止硅片损伤和提高镀膜效果。