[实用新型]一种料盘快速量测治具有效
| 申请号： | 202120883405.X | 申请日： | 2021-04-27 |
| 公开（公告）号： | CN214583010U | 公开（公告）日： | 2021-11-02 |
| 发明（设计）人： | 韦进;韩慧;聂存香;吴展超;杨爱平;乔春娟;李玉婷 | 申请（专利权）人： | 江苏汇成光电有限公司 |
| 主分类号： | G01B5/30 | 分类号： | G01B5/30;G01B5/02 |
| 代理公司： | 南京苏科专利代理有限责任公司 32102 | 代理人： | 王峰 |
| 地址： | 225128 江苏省扬州*** | 国省代码： | 江苏;32 |
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| 摘要： | 本实用新型公开了半导体制造领域内的一种料盘快速量测治具，包括卡块体，所述卡块体上侧沿长度方向依次间隔分别开设有第一卡槽、第二卡槽和第三卡槽，第一卡槽的右侧内壁与第二卡槽的左侧内壁的间距为35.15~35.25mm，第一卡槽的左侧内壁与第二卡槽的右侧内壁的间距为48.7~48.78mm，第一卡槽的右侧内壁与第三卡槽的左侧内壁的间距为48.2~48.6mm，第一卡槽的左侧内壁与第三卡槽的右侧内壁的间距为61.92~61.96mm；卡块体的左侧边缘和右侧边缘均竖直设置，卡块体的下侧边缘水平设置，卡块体的长度为84~86mm。本实用新型能够通过卡块体精准量测料盘的宽度尺寸，人员无需记录数据或计算是否合规，减轻人员的等待量，测量更加方便。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 快速 量测治具 | ||
【主权项】：
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